Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
Abstract (EN)
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes.
Freie Schlagwörter
Mikrotechnologie
Vakuumsensor
Klassifikation (DDC)
620
Normschlagwörter (GND)
Drehratensensor
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
GutachterIn
Prof. Dr. Dr. Prof. h.c. mult. Thomas Gessner
Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution