Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf
eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine
Atomlagenabscheideanlage.
Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der
Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler
an der alten Prozesssteuereinheit.
Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt,
von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf
bis zur Programmierung der Software.
Abstract (EN)
This student research project is about a PC-based
process controller designed for an
atomic layer deposition equipment.
The first part of the document describes the temporary
solution, a 4-digit down counter connected to the old
process controller.
The second part presents the newly developed controller:
the specification, circuit design and software programming.
Freie Schlagwörter
Anlagensteuerung
Klassifikation (DDC)
600
Normschlagwörter (GND)
Computer
Elektronische Schaltung
Programmierbare Steuerung
Schnittstelle / Schaltung
Wissenschaftlich-technische Software
Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution